因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外,集成電路制造步驟如高溫擴散、離子植入前等均需要進行濕法清洗或干法清洗工作。干、濕法清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下,有效地使用化學(xué)溶液或氣體去除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子及有機物之雜質(zhì)。污染物雜質(zhì)的分類:IC制程中需要一些有機物和無機物參與完成,另外,制作過程總是在人的參與下在凈化室中進行,這樣就不可避免的產(chǎn)生各種環(huán)境對硅片污染的情況發(fā)生。根據(jù)污染物發(fā)生的情況,大致可將污染物分為顆粒、有機物、金屬污染物及氧化物。IC封裝藥水可采用浸泡法和擦拭法進行除膠。江蘇IC封裝藥水供應(yīng)企業(yè)
翻新處理過程中,清洗是比較重要的環(huán)節(jié),由于電路板與IC芯片等元器件回收來源復(fù)雜,表面污染物差異很大,除了常見的三防漆、松香殘留、油脂、導(dǎo)電膠、導(dǎo)熱膏、灰塵、設(shè)備長期運行產(chǎn)生的積碳等,還會混有其他生活和工業(yè)垃圾所帶來的各種污染物。目前常用的主流環(huán)保清洗方法有以碳?xì)淝逑磩橹鞯娜軇╊惽逑醇案咝逑?,碳?xì)淝逑捶椒ㄟ\行成本較高;水基清洗對某些污染物的去除能力有限,同時需要配置烘干環(huán)節(jié)。如正確選用合適的IC清潔劑,一般情況下可做到成本與清潔效果的兼顧。蘇州IC鍍錫藥劑庫存充足IC封裝藥水的使用注意事項是什么呢?
STM-C190變色防止劑,STM-C190可直接取代磷酸三鈉中和處理制程。配比濃度(5%-10%),消耗很低。在錫表面沉積一層有機薄膜,可改善鍍層因儲存或熱處理(烘烤、Reflow)造成的外觀變色狀況。STM-C160除銹活化劑,單劑操作,配比濃度20-40%。適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy不含H2O2,藥液維護容易。微蝕均一性好,藥劑穩(wěn)定性良好。STM-C150除銹活化劑單劑操作,配比濃度20-40%。適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy、Ni。不含H202,藥液維護容易。微蝕均一性好,藥劑穩(wěn)定性良好。
有機物的去除常常在清洗工序的第1步進行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個單獨的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產(chǎn)生互連線,然后對沉積介質(zhì)層進行化學(xué)機械拋光(CMP)。這個過程對IC制程也是一個潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時,也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學(xué)氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。IC封裝藥水防止金屬與腐蝕介質(zhì)接觸。
隨著科技的不斷發(fā)展,IC封裝藥水也在不斷進步。為了滿足更精細(xì)的工藝、更高的性能以及更嚴(yán)格的環(huán)保要求,新型封裝藥水不斷涌現(xiàn)。隨著環(huán)保意識的提高,無鉛封裝藥水已成為主流。無鉛錫膏的錫鉛合金中不含鉛,因此更環(huán)保。同時,無鉛封裝藥水也面臨更高的挑戰(zhàn),如提高焊點的可靠性和耐溫性。隨著IC芯片性能的提高,需要更高的工作溫度。因此,高溫封裝藥水的發(fā)展至關(guān)重要。這種封裝藥水必須在更高的溫度下保持穩(wěn)定,同時還要具有優(yōu)良的電氣性能和機械性能。IC封裝藥水適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy、Ni。蘇州IC封裝表面處理液廠家地址
IC封裝藥水使用簡單,常溫浸泡,封閉前無需干燥產(chǎn)品。江蘇IC封裝藥水供應(yīng)企業(yè)
IC清潔劑對金屬不腐蝕,可蒸餾回收,反復(fù)使用,比較經(jīng)濟;毒性較低,對環(huán)境污染少;清洗與漂洗可用同一種介質(zhì),使用方便。烴類清洗工藝的缺點,主要的是安全性問題,要有嚴(yán)格的安全方法措施。醇類清洗工藝特點:醇類中乙醇和異丙醇是工業(yè)中常用得有機極性溶劑,甲醇毒性較大,一般做添加劑。醇類清洗工藝特點是:對離子類污染物有很好的溶解能力,清洗松香焊劑效果非常好,對油脂類溶解能力較弱;與金屬材料和塑料等相容性好,不產(chǎn)生腐蝕和容脹;干燥快,容易晾干或送風(fēng)干燥,可不必使用熱風(fēng);脫水性好,常用做脫水劑。江蘇IC封裝藥水供應(yīng)企業(yè)