光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實(shí)時(shí)性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢,迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。本次測量場景使用的是創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度, 30kHz的采樣速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度的測量,對于研究材料的振動(dòng)特性具有重要意義。??诠庾V共焦信賴推薦
光譜共焦傳感器如何工作?共焦色度測量原理通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準(zhǔn)為每個(gè)波長分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量。從目標(biāo)表面反射的這種光通過共焦孔徑到達(dá)光譜儀,該光譜儀檢測并處理光譜變化。共焦測量提供納米分辨率并且?guī)缀跖c目標(biāo)材料分開運(yùn)行。在整個(gè)傳感器的測量范圍內(nèi),實(shí)現(xiàn)了一個(gè)非常小的、恒定的光斑尺寸,通常 <10 μm。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面,以及測量窄孔、小間隙和空腔。景德鎮(zhèn)光譜共焦市場價(jià)格光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的表面形貌進(jìn)行高精度測量,對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。
在點(diǎn)膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過視覺系統(tǒng)檢驗(yàn)。在生產(chǎn)中必須保證點(diǎn)膠路線是連貫和穩(wěn)定的,而通過色散共焦測量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)中的很多參數(shù)。膠水小球相對于其他結(jié)構(gòu)必須安置在正中間。在點(diǎn)膠起始和結(jié)束的異常的材料積聚能被檢測出來。色散共焦測量就連缺口也能被檢測到。在3C領(lǐng)域,對于精密點(diǎn)膠的要求越來越高,這就要求必須實(shí)時(shí)檢測膠水高度來實(shí)現(xiàn)精密點(diǎn)膠的閉環(huán)控制。由于膠水有透明及非透明多種材質(zhì),并且膠型輪廓較為復(fù)雜,傾斜角度大,傳統(tǒng)激光傳感器無法準(zhǔn)確測量出膠水輪廓高度。創(chuàng)視智能探頭擁有的測量角度,可以適用于各種膠水輪廓高度測量,特別是在圓孔膠高檢測擁有的優(yōu)勢。所以目前業(yè)界通用做法,就是采用超大角度光譜共焦傳感器,由于光譜共焦傳感器采用白光,白光是復(fù)合光,總會(huì)有光線可以反射回來,而且針對弧面,加大了光筆的反射夾角(45°),所以才能完美的測出白色透明點(diǎn)膠的輪廓。
由于光譜共焦傳感器對于不同的反射面反射回來的單色光的波長不同,因此對于材料的厚度精密測量具有獨(dú)特的優(yōu)勢。光學(xué)玻璃、生物薄膜、平行平板等,兩個(gè)反射面都會(huì)反射不同波長的單色光,進(jìn)而只需一個(gè)傳感器,即可推算出厚度,測量精度可達(dá)微米量級(jí),且不損傷被測表面。利用光譜共焦位移傳感器測量透明材料厚度的應(yīng)用,計(jì)算了該系統(tǒng)的測量誤差范圍大概為 0.005mm。利用光譜共焦傳感器對平行平板的厚度以及光學(xué)鏡頭的中心厚度進(jìn)行測量的方法,并針對被測物體材料的色散對厚度測量精度的影響做了理論的分析。為了探究由流體跌落方式制備的薄膜厚度與跌落模式、雷諾數(shù)、底板的傾斜角度之間的關(guān)系,采用光譜共焦傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控制備后的薄膜厚度,利用對頂安裝的白光共焦傳感器組,實(shí)現(xiàn)了對厚度為 10—100μm 的金屬薄膜厚度及分布的精確測量,并進(jìn)行了測量不確定度分析,得到系統(tǒng)的測量不確定度為 0.12μm 左右。光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀察和分析。
客戶一直在使用安裝在潔凈室的較好的激光測量設(shè)備檢查對齊情況,每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,這太長了?!耙虼?,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機(jī)器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間?,F(xiàn)在,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由于移動(dòng)機(jī)器人的振動(dòng)引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨(dú)的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機(jī)器現(xiàn)已經(jīng)過測試和驗(yàn)證。光譜共焦技術(shù)的精度可以達(dá)到納米級(jí)別。??诠庾V共焦信賴推薦
光譜共焦技術(shù)在汽車制造中可以用于零件的精度檢測和測量。海口光譜共焦信賴推薦
物體的表面形貌可以基于距離的確定來進(jìn)行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料(例如塑料和金屬)時(shí),盡管距離值保持不變,但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射度并變得可見。在檢測到信號(hào)強(qiáng)度的變化后,系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像。 除了距離測量之外,另一種選擇是使用信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行測量,這可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化。通過恒定的曝光時(shí)間,可以獲得關(guān)于表面評估的附加信息,而這靠距離測量是不可能的。??诠庾V共焦信賴推薦